国产5nm半导体设备已获得台积电订单 进步神速
除了大家都知道的光刻机,半导体设备生产中还需要各种设备,国内的中微半导体设备公司已经能够生产高端刻蚀设备,其5nm刻蚀机已经批量生产,用于台积电的5nm生产线中。 中微半导体上周末发布了2019年财报,全年实现营业收入19.47亿元,同比增长18.77%;实现归母净利润1.89亿元,同比增长107.51%。 根据该公司年报,中微公司开发的高端刻蚀设备已运用在国际知名客户65纳米到7纳米的芯片生产线上。 同时,公司根据先进集成电路厂商的需求,已开发出5纳米刻蚀设备用于若干关键步骤的加工,并已获得行业领先客户的批量订单——虽然中微没有明说,但是这家客户就是台积电,也只有他们量产了5nm工艺。 目前公司正在配合客户需求,开发新一代刻蚀设备和包括更先进大马士革在内的刻蚀工艺,能够涵盖
2020-04-20 16:28:33